國家智慧財產權局資訊顯示，無錫華潤微電子有限公司申請一項名為“一種MEMS器件及其製造方法”的專利，公開號CN122144651A，申請日期為2024年12月電子。
專利摘要顯示，本申請提供一種MEMS器件及其製造方法，該方法包括：提供第一襯底和第二襯底，一者的第一表面上形成有第一鍵合結構、另一者的第一表面上形成有第二鍵合結構；將第一鍵合結構和第二鍵合結構進行鍵合，以得到第一犧牲層、第一振膜、第二犧牲層、第一背板層、第三犧牲層、第二振膜、第四犧牲層、第二背板層和第五犧牲層，第一振膜和第二振膜之間形成有第一空腔，第一背板層中形成有多個第一釋放孔，第一空腔中形成有多個連線柱，連線柱穿設於第一釋放孔中並分別連線第一振膜和第二振膜；去除第二襯底，去除第一襯底對應於第一空腔的部分以形成背腔，並去除部分犧牲層電子。本申請方案能夠簡化工藝、降低成本、提高訊雜比、靈敏度、效率和良率。
天眼查資料顯示，無錫華潤微電子有限公司，成立於2002年，位於無錫市，是一家以從事計算機、通訊和其他電子裝置製造業為主的企業電子。企業註冊資本57000萬人民幣。透過天眼查大資料分析，無錫華潤微電子有限公司共對外投資了4家企業，參與招投標專案3125次，財產線索方面有商標資訊27條，專利資訊143條，此外企業還擁有行政許可194個。
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來源電子：市場資訊
